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電子束蒸鍍?cè)O(shè)備

簡(jiǎn)要描述:電子束蒸鍍?cè)O(shè)備是一種實(shí)用且高度可靠的系統(tǒng)。我們的系統(tǒng)可針對(duì)量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個(gè)坩堝來(lái)達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu)。在基板乘載上我們對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計(jì)。單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)可以控制蒸發(fā)速率,薄膜厚度和均勻度小於+/- 3%。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-10-20
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電子束蒸鍍?cè)O(shè)備介紹

SYSKEY的電子束沉積是一種實(shí)用且高度可靠的系統(tǒng)。我們的系統(tǒng)可針對(duì)量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個(gè)坩堝來(lái)達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu)。在基板乘載上我們對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計(jì)。單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)可以控制蒸發(fā)速率,薄膜厚度和均勻度小於+/- 3%。

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電子束蒸鍍?cè)O(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 光學(xué)材料研究(LED/Laser Diode)。

  • 光電元件。

  • 半導(dǎo)體元件。


  • 由304不銹鋼所製成,通過(guò)外部焊

    接304不銹鋼管線對(duì)腔體進(jìn)行水冷。

  • 寬大的前開(kāi)式門,並有兩個(gè)視窗和

    視窗遮版用於觀察基材和電子束源。

  • 腔體的極限真空度約為10-8 Torr。

配置和優(yōu)點(diǎn)選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達(dá)12寸晶圓。

  • 單載片或多載片(2" x 32個(gè),4" x 16個(gè),6" x 6個(gè),8" x 4個(gè))。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子

    束源(1/2/4/6坩堝)。

  • 自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)。

  • 具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源。

  • 基板具有冷卻(液態(tài)氮溫度低至-70°C)或加熱(溫度最高800°C)等功能。

  • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱

    整合在一起。

  • 結(jié)合離子源、濺鍍槍、熱蒸發(fā)源、

    等離子清潔...。




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